[实用新型]一种氦质谱检漏仪用组合阀座有效
| 申请号： | 201820473569.3 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN208076106U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱操胜 | 申请（专利权）人： | 安徽诺益科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 230041 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪用组合阀座，所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连，所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座，所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连；所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座，所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。本实用新型的组合阀座中的每个阀座尺寸都很小，避免了加工过程中需要打过深的孔，大大降低的加工的难度，提高了良品率，从而降低了装配前的内孔打磨的工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 阀座 电磁阀阀座 组合阀座 主阀座 进气口 氦质谱检漏仪 本实用新型 排气电磁阀 真空电磁阀 主真空泵 低真空 预抽 氦质谱检漏 前级真空泵 入口阀座 检漏口 良品率 排气口 检漏 内孔 打磨 工作量 连通 装配 加工 | ||
【主权项】：
1.一种氦质谱检漏仪用组合阀座，其特征在于，包括主阀座和入口阀座，所述入口阀座与主阀座相连通，所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连，所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座，所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连；所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座，所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。
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