[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201820447443.9 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208250403U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 侯佳森 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸镀装置，属于显示技术领域。该蒸镀装置包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个角度限制机构构造为限制一个蒸发单元的蒸镀范围。本实用新型的实施例通过角度限制机构限制蒸发单元的蒸镀范围，从而实现了对该蒸发单元蒸镀膜的增厚效率的控制，对于包括多个蒸发单元的蒸镀装置来说，由于每个蒸发单元的蒸镀膜的增厚效率可控，因此实现了待成膜对象的蒸镀膜厚的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发单元 蒸镀装置 角度限制机构 蒸镀膜 蒸镀 本实用新型 增厚 成膜对象 均一性 可控 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸发单元，用于提供蒸镀颗粒；以及多个角度限制机构，其中的每个所述角度限制机构构造为限制一个所述蒸发单元的蒸镀范围。
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