[实用新型]一种双控温晶体生长炉有效

专利信息
申请号: 201820437617.3 申请日: 2018-03-29
公开(公告)号: CN208023104U 公开(公告)日: 2018-10-30
发明(设计)人: 翟海峰 申请(专利权)人: 福州克雷斯试验设备有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350000 福建省福州市闽侯县*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型属于晶体生长炉技术领域,具体为一种双控温晶体生长炉,包括炉体,所述炉体的下端设有减震装置,所述炉体的内部设有空腔,所述空腔的内底端固定连接有第一电热板,所述第一电热板的上方设有坩埚,所述空腔的侧壁设有滑槽,所述滑槽内相对的侧壁均固定连接有垫块,两个所述垫块之间设有螺杆,所述螺杆上螺纹套接有升降杆,所述升降杆的一端固定连接有第二电热板,所述炉体的外侧壁固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出轴末端固定套接有第二齿轮。本实用新型结构新颖,通过简单的结构便捷的实现了双控温晶体生长炉可以满足不同类型晶体的生长,同时溫场与温度梯度可以很好的控制。
搜索关键词: 晶体生长炉 炉体 电热板 双控 本实用新型 伺服电机 升降杆 侧壁 垫块 滑槽 空腔 螺杆 输出轴末端 减震装置 温度梯度 固定套 晶体的 上螺纹 外侧壁 齿轮 底端 套接 下端 坩埚 生长
【主权项】:
1.一种双控温晶体生长炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的下端设有减震装置,所述炉体(1)的内部设有空腔,所述空腔的内底端固定连接有第一电热板(3),所述第一电热板(3)的上方设有坩埚(2),所述空腔的侧壁设有滑槽,所述滑槽内相对的侧壁均固定连接有垫块(11),两个所述垫块(11)之间设有螺杆(9),所述螺杆(9)上螺纹套接有升降杆(10),所述升降杆(10)的一端固定连接有第二电热板(12),所述炉体(1)的外侧壁固定连接有伺服电机(7),所述伺服电机(7)的输出轴末端固定套接有第二齿轮(18),所述滑槽内设有转动杆(8),所述转动杆(8)的一端与螺杆(9)相啮合,所述转动杆(8)的另一端贯穿炉体(1)并固定套接有与第二齿轮(18)相啮合的第一齿轮(17),所述炉体(1)的上端设有电动伸缩杆(13),所述电动伸缩杆(13)向下贯穿炉体(1)并与坩埚(2)固定连接。
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