[实用新型]一种基片样品架及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820426921.8 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208414522U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;黄稳;武启飞 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基片样品架及蒸镀设备，属于OLED真空蒸镀装备领域。本实用新型的目的是解决现有装置设备复杂，工作效率低下的问题。本实用新型的基片样品架包括支撑架和基片架，通过在支撑架上设置一组凸台，使基片架下方可形成一用于掩模板架放入的操作空间，以便于快速更换掩模板。本实用新型可以应用于半导体器件的薄膜沉积等制程。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 基片样品 蒸镀设备 基片架 掩模板 支撑架 真空蒸镀装备 半导体器件 薄膜沉积 操作空间 工作效率 快速更换 现有装置 放入 凸台 制程 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基片样品架，包括：支撑架、基片架，其特征在于，所述支撑架上设置有第一对位结构，所述基片架上设置有第二对位结构，所述第二对位结构可与所述第一对位结构相配合，可使所述基片架与所述支撑架对位；所述支撑架上设置有一组凸台，用于支撑所述基片架。
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