[实用新型]一种减反射镀膜系统

摘要

本实用新型涉及光学镜片加工技术领域，目的在于提供一种减反射镀膜系统。所采用的技术方案是：一种减反射镀膜系统，包括真空室，所述真空室内设置基片安装机构、蒸镀机构，还包括中部设置的烘干机构，所述烘干机构包括安装在真空室侧壁的第一支杆，所述第一支杆的顶端铰接灯罩，所述灯罩内设置有红外线灯；所述蒸镀机构包括由电机驱动的转动盘、电子枪，所述转动盘上环向开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有坩埚，所述坩埚与电子枪相对设置，所述转动盘的周侧安装有若干感应杆，所述第二支杆上设置与感应杆适配的位置传感器。本实用新型可快速完成多层减反光膜镀设，生产效率高。

主权项

1.一种减反射镀膜系统，包括设置在安装架（1）上的真空室（2），所述真空室（2）内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构（3），其特征在于：还包括中部设置的烘干机构（4），所述烘干机构（4）包括安装在真空室（2）侧壁的第一支杆（41），所述第一支杆（41）的顶端铰接灯罩（42），所述灯罩（42）内设置有红外线灯（43），所述灯罩（42）朝向基片安装机构；所述蒸镀机构（3）包括由电机（35）驱动的转动盘（31）、固定在第二支杆（32）上的电子枪（33），所述转动盘（31）安装在电机（35）的转轴（34）上，所述第二支杆（32）安装在真空室（2）的底板上，所述转动盘（31）上环向开设有若干凹槽，所述凹槽内设置有坩埚（36），所述坩埚（36）与电子枪（33）相对设置，所述转动盘（31）的周侧配合凹槽安装有若干感应杆（37），所述第二支杆（32）上设置与感应杆（37）适配的位置传感器（38），所述位置传感器（38）的感应端朝向感应杆（37）。