[实用新型]一种半导体高倍放大镜检测设备有效

专利信息
申请号: 201820387191.5 申请日: 2018-03-21
公开(公告)号: CN208043702U 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 孙德付 申请(专利权)人: 无锡升滕半导体技术有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 代理人: 段小丽
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体高倍放大镜检测设备,包括底座和设置在所述底座上的检测台,所述检测台上设置有夹持机构,所述底座上相邻检测台设置有伸缩机构,所述伸缩机构沿垂直于底座的方向上、下伸缩设置,所述伸缩机构的端部阻尼铰接设置有支撑杆,所述支撑杆伸向检测台,所述支撑杆的端部设置有高倍放大镜,所述高倍放大镜位于检测台的上方;所述伸缩机构的底部设置有滑动位移机构,所述伸缩机构通过滑动位移机构向检测台滑动位移设置。本实用新型提供一种半导体高倍放大镜检测设备,方便观察及发现半导体零件上的缺陷,结构简单,使用方便。
搜索关键词: 高倍放大镜 伸缩机构 检测台 底座 滑动位移 检测设备 支撑杆 半导体 本实用新型 半导体零件 夹持机构 阻尼铰接 伸缩 垂直 检测 观察 发现
【主权项】:
1.一种半导体高倍放大镜检测设备,其特征在于:包括底座(1)和设置在所述底座(1)上的检测台(6),所述检测台(6)上设置有夹持机构(5),所述底座(1)上相邻检测台(6)设置有伸缩机构(2),所述伸缩机构(2)沿垂直于底座(1)的方向上、下伸缩设置,所述伸缩机构(2)的端部阻尼铰接设置有支撑杆(3),所述支撑杆(3)伸向检测台,所述支撑杆(3)的端部设置有高倍放大镜(4),所述高倍放大镜(4)位于检测台(6)的上方;所述伸缩机构(2)的底部设置有滑动位移机构,所述伸缩机构(2)通过滑动位移机构向检测台(6)滑动位移设置。
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