[实用新型]一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置有效
| 申请号： | 201820386140.0 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN207992057U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 朱君;徐政杰;傅得立 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置，其特征是，包括阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构，所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边呈对称设置的一组锯齿状边，所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边分别对称设有与阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构紧密连接的半导体材料石墨烯和金属材料，分别与金属材料和半导体材料石墨烯紧密连接的阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的锯齿齿尖位置旁边分别对称刻蚀有第一组圆柱形谐振腔和第二组圆柱形谐振腔。这种光学传感装置具有可调性好、抗干扰能力强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 长条波导 锯齿形 谐振腔 阵列柱 光学传感装置 表面等离子体波导 半导体材料 圆柱形谐振腔 石墨烯材料 金属材料 紧密连接 石墨烯 对称 锯齿 本实用新型 抗干扰能力 齿尖位置 对称设置 锯齿状边 可调性 刻蚀 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯材料的表面等离子体波导光学传感装置，其特征是，包括阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构，所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边呈对称设置的一组锯齿状边，所述阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的两侧边分别对称设有与阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构紧密连接的半导体材料石墨烯和金属材料，分别与金属材料和半导体材料石墨烯紧密连接的阵列柱形谐振腔和锯齿形长条波导结构的锯齿齿尖位置旁边分别对称刻蚀有第一组圆柱形谐振腔和第二组圆柱形谐振腔。
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