[实用新型]一种智能真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种智能真空镀膜机，包括箱体、真空镀膜室、电加热装置、电弧蒸发装置、温度监控装置、密封口、密封槽、密封盖、密封圈、盖体、抽真空接口、真空槽、加热控制系统控制器、蒸发控制系统控制器、温度控制系统控制器。本实用新型有益效果是：结构简单，设计合理，使用方便，真空镀膜室内通过抽真空接口外接真空泵进行抽真空时，密封槽与密封圈连接处的空隙，可以通过真空槽进行抽真空，从而，使得密封口与密封盖的密封性能更加可靠，提高了真空镀膜室的密封性；设置有多组控制装置，智能化程度较高，使镀膜层的质量提高，不易脱。

主权项

1.一种智能真空镀膜机，其特征在于：包括箱体（1），所述箱体（1）内设置有真空镀膜室（2），所述真空镀膜室（2）的底端设置有电加热装置（3），所述真空镀膜室（2）内设置有电弧蒸发装置（4），所述真空镀膜室（2）的顶端设置有温度监控装置（5），所述箱体（1）的一侧设置有密封口（7），所述密封口（7）内设置有密封槽（8），所述密封槽（8）的外侧设置有密封盖（9），所述密封盖（9）包括密封圈（91）、盖体（92）、抽真空接口（93），所述密封圈（91）设置于盖体（92）一侧与盖体（92）连接，所述抽真空接口（93）贯穿盖体（92）与盖体（92）连接，所述密封圈（91）和盖体（92）内还设置有多组真空槽（94），所述真空槽（94）的一端贯穿密封圈（91），所述真空槽（94）的另一端与抽真空接口（93）连接，所述真空槽（94）的另一端与抽真空接口（93）相通，所述密封圈（91）与密封槽（8）凹凸连接；所述箱体（1）的顶端依次设置有加热控制系统控制器（10）、蒸发控制系统控制器（11）、温度控制系统控制器（12），所述加热控制系统控制器（10）与电加热装置（3）电连接，所述蒸发控制系统控制器（11）与电弧蒸发装置（4）电连接，所述温度控制系统控制器（12）与温度监控装置（5）电连接。