[实用新型]一种智能真空镀膜机

权利要求书

1.一种智能真空镀膜机，其特征在于：包括箱体（1），所述箱体（1）内设置有真空镀膜室（2），所述真空镀膜室（2）的底端设置有电加热装置（3），所述真空镀膜室（2）内设置有电弧蒸发装置（4），所述真空镀膜室（2）的顶端设置有温度监控装置（5），所述箱体（1）的一侧设置有密封口（7），所述密封口（7）内设置有密封槽（8），所述密封槽（8）的外侧设置有密封盖（9），所述密封盖（9）包括密封圈（91）、盖体（92）、抽真空接口（93），所述密封圈（91）设置于盖体（92）一侧与盖体（92）连接，所述抽真空接口（93）贯穿盖体（92）与盖体（92）连接，所述密封圈（91）和盖体（92）内还设置有多组真空槽（94），所述真空槽（94）的一端贯穿密封圈（91），所述真空槽（94）的另一端与抽真空接口（93）连接，所述真空槽（94）的另一端与抽真空接口（93）相通，所述密封圈（91）与密封槽（8）凹凸连接；

所述箱体（1）的顶端依次设置有加热控制系统控制器（10）、蒸发控制系统控制器（11）、温度控制系统控制器（12），所述加热控制系统控制器（10）与电加热装置（3）电连接，所述蒸发控制系统控制器（11）与电弧蒸发装置（4）电连接，所述温度控制系统控制器（12）与温度监控装置（5）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种智能真空镀膜机，其特征在于，所述箱体（1）的底端设置有多组滑轮（6），所述滑轮（6）与箱体（1）活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种智能真空镀膜机，其特征在于，所述滑轮（6）为万向滑轮。

4.根据权利要求1所述的一种智能真空镀膜机，其特征在于，所述抽真空接口（93）外接真空泵。

5.根据权利要求1所述的一种智能真空镀膜机，其特征在于，所述加热控制系统控制器（10）、蒸发控制系统控制器（11）、温度控制系统控制器（12）的顶端分别设置有保护盖（13）。

6.根据权利要求5所述的一种智能真空镀膜机，其特征在于，所述保护盖（13）由透明材料制成。