[实用新型]真空多弧涂覆设备有效
| 申请号： | 201820332188.3 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN207958485U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;张浙军;裴宏伟;康振东;邓广林 | 申请（专利权）人： | 山东睿磁真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司： | 青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256 | 代理人： | 高洋 |
| 地址： | 264205 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空多弧涂覆设备，包括真空室、与真空室连接的真空抽气系统以及设于真空室内的传送装置，所述真空室上设有至少一个弧源组，每个弧源组设有多个弧源，所述弧源组为至少两个时，各弧源组依次间隔排列；所述传送装置上设有用于放置钕铁硼永磁体的支撑体，钕铁硼永磁体表面涂覆时，传送装置通过支撑体带动钕铁硼永磁体做水平往复运动。本实用新型能够控制钕铁硼永磁体的升温，增加钕铁硼永磁体磁性能的稳定性，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 钕铁硼永磁体 弧源 传送装置 真空室 本实用新型 涂覆设备 支撑体 水平往复运动 真空抽气系统 表面涂覆 间隔排列 生产效率 磁性能 室内 | ||
【主权项】：
1.一种真空多弧涂覆设备，包括真空室、与真空室连接的真空抽气系统以及设于真空室内的传送装置，其特征在于，所述真空室上设有至少一个弧源组，每个弧源组设有多个弧源，所述弧源组为至少两个时，各弧源组依次间隔排列；所述传送装置上设有用于放置钕铁硼永磁体的支撑体，钕铁硼永磁体表面涂覆时，传送装置通过支撑体带动钕铁硼永磁体做水平往复运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东睿磁真空设备有限公司，未经山东睿磁真空设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820332188.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
