[实用新型]晶片研磨盘有效
| 申请号： | 201820322543.9 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN208117545U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 周朱华;王祖勇 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶控电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶片研磨盘，包括盘体，盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔，盘体内设置有与其同心的永磁铁圈，盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽，盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上，盘体上下表面均设置有环形凹槽，环形凹槽位于晶片固定槽外侧且与盘体同心设置，环形凹槽内设置有研磨垫圈，研磨垫圈通过插销固定在环形凹槽内；本实用新型结构简单，使用方便，通过永磁铁圈对研磨机的研磨块吸力作用下，研磨块与各位置的晶片接触力均匀，晶片研磨质量好，研磨效率高，适合大范围推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 盘体 环形凹槽 研磨 晶片固定 晶片研磨 本实用新型 上下表面 永磁铁圈 研磨机 垫圈 插销 晶片接触 同心设置 同一圆周 吸力作用 研磨效率 同心的 轴孔 转轴 匹配 体内 | ||
【主权项】：
1.晶片研磨盘，包括盘体，盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔，其特征在于：盘体内设置有与其同心的永磁铁圈，盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽，盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上，盘体上下表面均设置有环形凹槽，环形凹槽位于晶片固定槽外侧且与盘体同心设置，环形凹槽内设置有研磨垫圈，研磨垫圈通过插销固定在环形凹槽内。
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