[实用新型]晶片研磨盘

说明书

本实用新型涉及晶片研磨盘，包括盘体，盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔，盘体内设置有与其同心的永磁铁圈，盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽，盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上，盘体上下表面均设置有环形凹槽，环形凹槽位于晶片固定槽外侧且与盘体同心设置，环形凹槽内设置有研磨垫圈，研磨垫圈通过插销固定在环形凹槽内；本实用新型结构简单，使用方便，通过永磁铁圈对研磨机的研磨块吸力作用下，研磨块与各位置的晶片接触力均匀，晶片研磨质量好，研磨效率高，适合大范围推广应用。

技术领域

本实用新型涉及晶片生产设备领域，具体是晶片研磨盘。

背景技术

石英晶体是目前世界上用量最大的晶体材料，利用晶体本身具有的物理特性制造出的电子元器件，如石英晶体谐振器、晶体滤波器和石英晶体振荡器等。因其在频率端的稳定性特征作为频率基准或是作为频率源，在数字电路、电子产品及通讯设备领域均得到了广泛的应用。晶片的厚度加工精度要求非常高，一般都是通过研磨来获得的。

现有的研磨机的研磨盘存在研磨时，研磨块与晶片接触力不均匀，导致晶片研磨质量不稳定，研磨效率低等缺点。

实用新型内容

针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供研磨块与各位置的晶片接触力均匀，晶片研磨质量好，研磨效率高，适合大范围推广应用的晶片研磨盘。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：晶片研磨盘，包括盘体，盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔，盘体内设置有与其同心的永磁铁圈，盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽，盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上，盘体上下表面均设置有环形凹槽，环形凹槽位于晶片固定槽外侧且与盘体同心设置，环形凹槽内设置有研磨垫圈，研磨垫圈通过插销固定在环形凹槽内。

进一步优化的方案，所述的盘体和研磨垫圈为耐磨陶瓷材料。

本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：本实用新型结构简单，使用方便，通过永磁铁圈对研磨机的研磨块吸力作用下，研磨块与各位置的晶片接触力均匀，晶片研磨质量好，研磨效率高，适合大范围推广应用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图。

图中标号为：1-盘体、2-轴孔、3-永磁铁圈、4-晶片固定槽、5-环形凹槽、6-研磨垫圈、7-插销、8-晶片。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照附图1-2可知，晶片研磨盘，包括盘体1，盘体1正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔2，盘体1内设置有与其同心的永磁铁圈3，盘体1上下表面均设置有若干晶片固定槽4，盘体1同一面的若干个晶片固定槽4位于同一圆周上，盘体1上下表面均设置有环形凹槽5，环形凹槽5位于晶片固定槽4外侧且与盘体1同心设置，环形凹槽5内设置有研磨垫圈6，研磨垫圈6通过插销7固定在环形凹槽5内。

进一步的，所述的盘体1和研磨垫圈6为耐磨陶瓷材料。