[实用新型]推车有效
申请号: | 201820305540.4 | 申请日: | 2018-03-05 |
公开(公告)号: | CN208007001U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 刘明;吴雷雷;骆建钢 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | B62B3/00 | 分类号: | B62B3/00;B62B5/00 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种推车,包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮,所述物架上设有至少一个倾角传感器,所述物架和所述底板之间设有吸震机构,所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构,能够在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用,使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。 | ||
搜索关键词: | 底板 物架 倾角传感器 晶圆 推车 吸震 电子控制机构 本实用新型 光罩表面 电连接 洁净度 有效地 光罩 运输 车轮 震动 保证 | ||
【主权项】:
1.一种推车,其特征在于,包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮,所述物架上设有至少一个倾角传感器,所述物架和所述底板之间设有吸震机构,所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。
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