[实用新型]提高靶材利用率及涂层质量的装置有效
| 申请号： | 201820234720.8 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN207845765U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 傅铭桓 | 申请（专利权）人： | 广州巴达精密刀具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人： | 顿海舟;李唐明 |
| 地址： | 510880 广东省广州市花都*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了提高靶材利用率及涂层质量的装置，包括磁铁装夹模块，靶材固定模块和冷却模块；其中：所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹、磁铁和磁铁安装框，所述磁铁安装于所述磁铁安装夹内部；所述靶材固定模块包括靶材固定部件和靶材；所述靶材固定部件环绕所述靶材设置并对所述靶材进行固定；所述冷却模块包括冷却水进水管和冷却水出水管，用于冷却所述靶材。本实用新型以最低的成本方式解决了靶材利用率低的问题，减少材料的浪费，采用了不同规格的圆形铜板改变了靶材的装夹位置和将磁铁安装夹向外旋转扭动改变磁铁的位置，使得每一次消耗过后的靶材表面都能够最大限度地处于理想的磁场环境中工作。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 磁铁安装 磁铁 靶材利用率 本实用新型 固定部件 固定模块 冷却模块 装夹 冷却水出水管 冷却水进水管 磁铁安装框 靶材表面 成本方式 磁场环境 减少材料 圆形铜板 装夹位置 扭动 冷却 环绕 消耗 | ||
【主权项】：
1.提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，包括磁铁装夹模块、靶材固定模块和冷却模块；所述磁铁装夹模块以环绕所述靶材固定模块的方式设置，所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹(101)，磁铁(102)和磁铁安装框(108)；所述磁铁(102)安装在所述磁铁安装夹(101)内部，所述磁铁安装夹(101)的外壁上半部设置有外螺纹，所述磁铁安装框(108)的内壁上半部设置有内螺纹，所述磁铁安装夹(101)设置在所述磁铁安装框(108)内部；通过外螺纹与内螺纹的配合，所述磁铁安装夹(101)带动所述磁铁(102)在所述安装框(108)内旋上旋下；所述靶材固定模块包括靶材固定部件(103)和靶材(104)；所述靶材固定部件(103)环绕所述靶材(104)设置并对所述靶材(104)进行固定；所述冷却模块与所述靶材固定模块的下部抵接；所述冷却模块包括冷却水进水管(106)和冷却水出水管(107)，用于冷却所述靶材(104)；所述冷却模块中心下方设有外部中心磁铁(105)，所述外部中心磁铁(105)用于为所述靶材(104)提供竖直方向的磁场。
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