[实用新型]提高靶材利用率及涂层质量的装置

权利要求书

1.提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，包括磁铁装夹模块、靶材固定模块和冷却模块；

所述磁铁装夹模块以环绕所述靶材固定模块的方式设置，所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹(101)，磁铁(102)和磁铁安装框(108)；所述磁铁(102)安装在所述磁铁安装夹(101)内部，所述磁铁安装夹(101)的外壁上半部设置有外螺纹，所述磁铁安装框(108)的内壁上半部设置有内螺纹，所述磁铁安装夹(101)设置在所述磁铁安装框(108)内部；通过外螺纹与内螺纹的配合，所述磁铁安装夹(101)带动所述磁铁(102)在所述安装框(108)内旋上旋下；

所述靶材固定模块包括靶材固定部件(103)和靶材(104)；所述靶材固定部件(103)环绕所述靶材(104)设置并对所述靶材(104)进行固定；

所述冷却模块与所述靶材固定模块的下部抵接；所述冷却模块包括冷却水进水管(106)和冷却水出水管(107)，用于冷却所述靶材(104)；

所述冷却模块中心下方设有外部中心磁铁(105)，所述外部中心磁铁(105)用于为所述靶材(104)提供竖直方向的磁场。

2.如权利要求1所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，所述靶材(104)包括金属靶材、陶瓷靶材或合金靶材。

3.如权利要求1所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，所述靶材(104)表面涂层后被消耗，形成波浪型的凹陷。

4.如权利要求1所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，所述靶材(104)底部通过增加不同厚度且形状相同的铜板，用于改变所述靶材(104)在所述靶材固定部件(103)中的高度。

5.如权利要求4所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，所述铜板呈圆形。

6.如权利要求5所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，所述铜板的径向尺寸与所述靶材(104)底部径向尺寸相同。

7.如权利要求1所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置,其特征在于,所述外部中心磁铁(105)呈圆柱体状。

8.如权利要求1所述的提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，所述磁铁(102)装夹在所述磁铁安装夹(101)中，通过内螺纹和外螺纹使所述磁铁安装夹(101)相对于所述磁铁安装框(108)向内或向外移动，用于改变所述磁铁(102)在所述磁铁安装框(108)中的高度。