[实用新型]硅片花篮检测夹具有效
申请号: | 201820229196.5 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN207800558U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 刘鹤川;林双全 | 申请(专利权)人: | 无锡市索克赛斯科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种硅片花篮检测夹具,包括底座,所述底座的上方一侧固定连接有直线导轨,所述直线导轨上滑动连接有滑板,所述滑板的上方固定连接有推柄,所述推柄的一侧通过固定螺栓固定连接有固定板,所述固定板与底座之间设置有空隙结构,所述固定板两侧固定连接有夹具模齿,所述底座的上方另一侧固定连接有固定架,所述固定架的两侧设置有开口,所述固定架的内部固定安装有硅片花篮,所述硅片花篮的内侧对称设置有齿槽,该实用新型设计合理,结构简单,方便进行检测硅片花篮的质量,检测效率高,效果好,值得大力推广。 | ||
搜索关键词: | 硅片花篮 底座 固定板 固定架 检测夹具 直线导轨 滑板 推柄 本实用新型 对称设置 固定螺栓 滑动连接 空隙结构 两侧设置 内部固定 夹具模 检测 齿槽 开口 | ||
【主权项】:
1.一种硅片花篮检测夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上方一侧固定连接有直线导轨(2),所述直线导轨(2)上滑动连接有滑板(3),所述滑板(3)的上方固定连接有推柄(4),所述推柄(4)的一侧通过固定螺栓(6)固定连接有固定板(5),所述固定板(5)与底座(1)之间设置有空隙结构(7),所述固定板(5)两侧固定连接有夹具模齿(8),所述底座(1)的上方另一侧固定连接有固定架(9),所述固定架(9)的两侧设置有开口(14),所述固定架(9)的内部固定安装有硅片花篮(10),所述硅片花篮(10)的内侧对称设置有齿槽(11)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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