[实用新型]硅片花篮检测夹具有效

专利信息
申请号: 201820229196.5 申请日: 2018-02-09
公开(公告)号: CN207800558U 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 刘鹤川;林双全 申请(专利权)人: 无锡市索克赛斯科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片花篮检测夹具,包括底座,所述底座的上方一侧固定连接有直线导轨,所述直线导轨上滑动连接有滑板,所述滑板的上方固定连接有推柄,所述推柄的一侧通过固定螺栓固定连接有固定板,所述固定板与底座之间设置有空隙结构,所述固定板两侧固定连接有夹具模齿,所述底座的上方另一侧固定连接有固定架,所述固定架的两侧设置有开口,所述固定架的内部固定安装有硅片花篮,所述硅片花篮的内侧对称设置有齿槽,该实用新型设计合理,结构简单,方便进行检测硅片花篮的质量,检测效率高,效果好,值得大力推广。
搜索关键词: 硅片花篮 底座 固定板 固定架 检测夹具 直线导轨 滑板 推柄 本实用新型 对称设置 固定螺栓 滑动连接 空隙结构 两侧设置 内部固定 夹具模 检测 齿槽 开口
【主权项】:
1.一种硅片花篮检测夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上方一侧固定连接有直线导轨(2),所述直线导轨(2)上滑动连接有滑板(3),所述滑板(3)的上方固定连接有推柄(4),所述推柄(4)的一侧通过固定螺栓(6)固定连接有固定板(5),所述固定板(5)与底座(1)之间设置有空隙结构(7),所述固定板(5)两侧固定连接有夹具模齿(8),所述底座(1)的上方另一侧固定连接有固定架(9),所述固定架(9)的两侧设置有开口(14),所述固定架(9)的内部固定安装有硅片花篮(10),所述硅片花篮(10)的内侧对称设置有齿槽(11)。
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