[实用新型]一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台有效
申请号: | 201820224751.5 | 申请日: | 2018-02-08 |
公开(公告)号: | CN208127136U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 王莉容;陈小明;伏利;黄欢欢;毛鹏展;赵坚;周夏凉;刘伟;张磊 | 申请(专利权)人: | 水利部产品质量标准研究所 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 万尾甜;韩介梅 |
地址: | 310012 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台,可有效解决普通样品台无法稳定放置异形截面样品而造成样品移位、倾斜、脱落的问题。样品台主要包括基台、样品座螺钉、钉型样品座、样品螺钉等。本实用新型结构新颖,简单高效,通过调整样品螺钉的旋进距离长短,能够适应不同的样品厚度,钉型样品台可旋转至任意角度并固定到基台上,可依据样品每个固定点上不同的曲率进行调整,非常适用于异形截面样品的固定。且能够同时固定多个异形样品,既解决了以往异形截面样品无法测试的难题,又可大大提高扫描电镜的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 异形截面 螺钉 样品台 样品座 钉型 扫描电镜样品台 曲率 扫描电镜样品 本实用新型 工作效率 扫描电镜 稳定放置 异形样品 有效解决 可旋转 移位 观察 基台 旋进 测试 | ||
【主权项】:
1.一种观察异形截面样品的扫描电镜样品台,其特征在于包括:基台(1)、样品座螺钉(2)、钉型样品座(3)、样品螺钉(5);其中基台(1)上有多个用于插入钉型样品座(3)的圆形通孔,每一个圆形通孔的垂直方向都设有延伸向基台侧面的螺孔,样品座螺钉(2)与螺孔配合用以固定钉型样品座(3);钉型样品座(3)包括样品支撑架(4)和固定于样品支撑架底部用于插入圆形通孔的钉部,样品支撑架包括第一柱状支撑架(4a)和第二柱状支撑架(4b),其中一侧的第一柱状支撑架(4a)上开有螺孔,样品螺钉(5)与该螺孔配合用于固定置于两柱状支撑架间的样品。
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