[实用新型]一种银铝合金晶振片镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201820222860.3 申请日: 2018-02-08
公开(公告)号: CN208121184U 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 周朱华;王祖勇 申请(专利权)人: 嘉兴晶控电子有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26;C23C14/56;C23C14/50
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 李伊飏
地址: 314000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种银铝合金晶振片镀膜装置,包括真空仓、固定架、托板、固定槽、蒸发舟、加热棒、电机、挡板和保护罩,所述真空仓内腔顶部固定设置有固定架,所述固定架底部一侧活动设置有托板,且托板通过固定槽与固定架连接,所述真空仓底部固定设置有蒸发舟,且蒸发舟与托板相对应,所述蒸发舟两侧均固定设置有加热棒,所述真空仓内壁底部固定设置有保护罩,且保护罩固定设置有电机,所述电机顶部固定设置有挡板,且挡板通过转轴与电机连接。本实用新型通过真空机,可有效的抽取真空仓内的空气,通过冷却机,可有效的降低真空仓内的温度,提高安全效率,通过空气净化机,可有效的提高真空仓内优质缓解,提高良品率。
搜索关键词: 真空仓 固定设置 固定架 蒸发舟 托板 挡板 保护罩 本实用新型 镀膜装置 固定槽 加热棒 晶振片 铝合金 电机 空气净化机 安全效率 电机顶部 电机连接 活动设置 内腔顶部 冷却机 良品率 真空机 内壁 转轴 抽取 缓解
【主权项】:
1.一种银铝合金晶振片镀膜装置,包括真空仓(1)、固定架(2)、托板(3)、固定槽(4)、蒸发舟(5)、加热棒(6)、电机(7)、挡板(8)和保护罩(19),所述真空仓(1)内腔顶部固定设置有固定架(2),所述固定架(2)底部一侧活动设置有托板(3),且托板(3)通过固定槽(4)与固定架(2)连接,所述真空仓(1)底部固定设置有蒸发舟(5),且蒸发舟(5)与托板3相对应,所述蒸发舟(5)两侧均固定设置有加热棒(6),所述真空仓(1)内壁底部固定设置有保护罩(19),且保护罩(19)固定设置有电机(7),所述电机(7)顶部固定设置有挡板(8),且挡板(8)通过转轴与电机(7)连接,其特征在于:所述真空仓(1)外壁顶部一侧固定设置有真空机(10),所述真空机(10)一侧固定设置有连接管(11),所述真空仓(1)外壁底部一侧固定设置有冷却机(13),所述真空仓(1)外壁底部另一侧固定设置有空气净化机(16),所述真空仓(1)内壁表面固定设置有循环管(20)。
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