[实用新型]一种银铝合金晶振片镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种银铝合金晶振片镀膜装置，包括真空仓、固定架、托板、固定槽、蒸发舟、加热棒、电机、挡板和保护罩，所述真空仓内腔顶部固定设置有固定架，所述固定架底部一侧活动设置有托板，且托板通过固定槽与固定架连接，所述真空仓底部固定设置有蒸发舟，且蒸发舟与托板相对应，所述蒸发舟两侧均固定设置有加热棒，所述真空仓内壁底部固定设置有保护罩，且保护罩固定设置有电机，所述电机顶部固定设置有挡板，且挡板通过转轴与电机连接。本实用新型通过真空机，可有效的抽取真空仓内的空气，通过冷却机，可有效的降低真空仓内的温度，提高安全效率，通过空气净化机，可有效的提高真空仓内优质缓解，提高良品率。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别涉及一种银铝合金晶振片镀膜装置。

背景技术

在石英片上镀上金属导电膜层，用作金属导电膜层的材料主要是金、银、铝和铜，用铝作导电层的晶振片具有最好的抗应力效果，但是铝这种材质过于柔软，易刮伤和氧化，而且对比金、银和铜，铝的阻抗大，其导电率和热导率都较低。

采用银铝合金既提高了晶振片的抗应力效果，又克服了铝晶振片中阻抗较大，电导率和热导率都较低的不足，传统的银铝合金镀膜工艺是把银和铝按一定比例放在钼舟或坩埚中加热在真空环境中蒸镀在石英片上，但是，在放置或拿取过程中，真空仓内会进入灰尘，并且在镀膜过程中温度过高，容你发生危险。为此，我们提出一种银铝合金晶振片镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种银铝合金晶振片镀膜装置，通过真空机，可有效的抽取真空仓内的空气，通过冷却机，可有效的降低真空仓内的温度，提高安全效率，通过空气净化机，可有效的提高真空仓内优质缓解，提高良品率，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种银铝合金晶振片镀膜装置，包括真空仓、固定架、托板、固定槽、蒸发舟、加热棒、电机、挡板和保护罩，所述真空仓内腔顶部固定设置有固定架，所述固定架底部一侧活动设置有托板，且托板通过固定槽与固定架连接，所述真空仓底部固定设置有蒸发舟，且蒸发舟与托板相对应，所述蒸发舟两侧均固定设置有加热棒，所述真空仓内壁底部固定设置有保护罩，且保护罩固定设置有电机，所述电机顶部固定设置有挡板，且挡板通过转轴与电机连接，所述真空仓外壁顶部一侧固定设置有真空机，所述真空机一侧固定设置有连接管，所述真空仓外壁底部一侧固定设置有冷却机，所述真空仓外壁底部另一侧固定设置有空气净化机，所述真空仓内壁表面固定设置有循环管。

进一步地，所述真空仓顶部设置有控制器。

进一步地，所述冷却机通过出水管与循环管一端连接，所述冷却机通过进水管与循环管另一端连接。

进一步地，所述空气净化机通过进气管与真空仓内部连接，所述空气净化机通过出气管与真空仓内部连接，所述连接管、进气管和出气管一端均固定设置有防渗透器。

进一步地，所述加热棒、电机、真空机、冷却机和空气净化机均通过导线与控制器电性连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.通过真空仓，可有效的为银铝合金晶振片镀膜装置提供坚实的外壳，保护内部的设备安全运行，通过固定架和固定槽，可有效的固定托板。

2.通过托板，可有效的为晶振片提供附着点，使得晶振片在镀膜过程中更加稳固，通过空气净化机、进气管和出气管，可有效的对真空仓内的空气进行净化除尘，为晶振片镀膜提供优质的环境。

3.通过真空机，可有效的抽取真空仓内的气体，使得真空仓内为真空，通过电机，可有效的控制电机将挡板移动到蒸发舟上方。

4.通过加热棒，可有效的加热蒸发舟，蒸发舟在达到足够的动能时，离子在蒸发舟和挡板之间运动，当离子有足够的能量时，控制电机移动挡板，使得对托板上的晶振片进行镀膜，使得镀膜更加均匀，提高良品率。