[实用新型]一种PVD真空离子镀膜机

摘要

本实用新型涉及镀膜机技术领域，尤其是一种PVD真空离子镀膜机，所述机壳的一侧设置有密封门，所述机壳的另一侧设置有抽气泵，所述机壳的顶部设置有电机，所述机壳的内腔设置有转动支架，所述转动支架上垂直设有连接轴，所述连接轴通过联轴器与电机的动力轴连接，所述转动支架上开设有一对放置槽，所述转动支架的顶部转动连接有一对第二卡槽，所述转动支架的底部转动连接有第一卡槽，所述第一卡槽上固定连接转轴，所述转轴远离第一卡槽的一端固定连接转动齿轮，该PVD真空离子镀膜机在工作时电机带动转动支架旋转的同时待镀膜板在转动齿轮的带动下自转，实现了更加均匀镀膜的目的，避免出现镀膜不均匀的现象，保证了PVD镀膜的质量。

主权项

1.一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳(1)，所述机壳(1)的一侧设置有密封门(2)，所述机壳(1)的另一侧设置有抽气泵(15)，其特征在于，所述机壳(1)的顶部设置有电机(5)，所述机壳(1)的内腔设置有转动支架(4)，所述转动支架(4)上垂直设有连接轴(14)，所述连接轴(14)通过联轴器与电机(5)的动力轴连接，所述转动支架(4)上开设有一对放置槽(8)，所述转动支架(4)的顶部转动连接有一对第二卡槽(7)，所述转动支架(4)的底部转动连接有第一卡槽(6)，所述第一卡槽(6)上固定连接转轴(16)，所述转轴(16)远离第一卡槽(6)的一端固定连接转动齿轮(11)，所述机壳(1)的内腔底部垂直设有立柱(9)，所述立柱(9)的顶部固定连接有与转动齿轮(11)相互啮合的固定齿轮(10)，所述机壳(1)的内壁固定安装有等离子弧源(3)。