[实用新型]一种高精度曲线传动测量系统

摘要

本实用新型公开一种高精度曲线传动测量系统，包括传动单元、真空密封单元、运动控制单元以及测量单元。传动单元包括导轨、滑块、小车、传动杆、电缸、支撑机构；导轨上放置有若干节小车，第一节小车的前端安装有传感器；真空密封单元包括插板阀、真空腔、真空密封机构；传动杆和导轨贯穿真空密封单元，连接小车和电缸；运动控制单元包括伺服电机、减速机、电机驱动、光栅尺及实时控制器、限位开关；控制器通过电机驱动伺服电机，经减速机带动电缸运动，光栅尺参与位置反馈，限位开关做保护；所述的测量单元包括传感器及相应的信号采集处理设备。本实用新型在真空环境中采用曲线传动，实现真空内部或其它受限空间的高精度运动和测量。

主权项

1.一种高精度曲线传动测量系统，其特征在于，包括传动单元、真空密封单元、运动控制单元以及测量单元；其中，所述的传动单元包括导轨(1)、小车(3)、传动杆(6)、电缸(10)；导轨(1)上放置有若干小车(3)；传动杆(6)一端与若干小车(3)中的最后一节小车连接，另一端与电缸(10)连接；所述的真空密封单元包括插板阀(7)、真空腔(8)、真空密封机构(9)，导轨(1)的直线导轨(16)和传动杆(6)贯穿整个真空密封单元；所述的运动控制单元包括伺服电机、减速机、电机驱动、光栅尺、实时控制器以及限位开关；电缸(10)由伺服电机驱动；所述的测量单元包括传感器(17)；位于若干小车中的第一节小车的前端安装有传感器(17)。