[实用新型]一种真空镀膜机的上盘装置有效
申请号: | 201820182550.3 | 申请日: | 2018-02-02 |
公开(公告)号: | CN208026890U | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 侯丽荣;王晓露;张建青 | 申请(专利权)人: | 天津市宇航兴达真空设备制造有限公司 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10 |
代理公司: | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人: | 张强 |
地址: | 301822 天津市宝坻区宝坻节能环保工业区天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种真空镀膜机的上盘装置,包括框支架和工件盘托架,框支架的底部和上部分别为底固定座和顶固定座,底固定座和顶固定座间固定一根带螺纹的丝杠和一根不带螺纹的光杆,丝杠的顶端穿过顶固定座,顶固定座上固定有相互连接的电动机和减速器,减速器与丝杠顶端连接,丝杠上设有螺母座,螺母座同时穿过光杆,螺母座相对的面上下设有两块耳板,工件盘托架通过螺栓固定在两块耳板中间,工件盘托架的端头处固定有支柱,支柱上固定有锥形体。本实用新型的结构空间占用小,操作方便,可根据标高设置上升高度,工件盘托架可绕螺栓水平转动,可以通过固定块在竖直方向上转动,实现对工件托盘架的灵活调整。 | ||
搜索关键词: | 工件盘 固定座 托架 螺母座 丝杠 减速器 真空镀膜机 底固定座 上盘装置 框支架 螺纹 耳板 光杆 转动 穿过 本实用新型 工件托盘 结构空间 灵活调整 螺栓固定 螺栓水平 丝杠顶端 电动机 固定块 锥形体 标高 端头 竖直 占用 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜机的上盘装置,其特征在于,包括框支架(5)和工件盘托架(13),框支架(5)的底部和上部分别为底固定座(10)和顶固定座(4),底固定座(10)和顶固定座(4)间固定一根带螺纹的丝杠(6)和一根不带螺纹的光杆(8),丝杠(6)的顶端穿过顶固定座(4),顶固定座(4)上固定有相互连接的电动机(1)和减速器(2),减速器(2)与丝杠(6)顶端连接,丝杠(6)上设有螺母座(7),螺母座(7)同时穿过光杆(8),螺母座(7)在远离框支架(5)的一侧面开有“十”字型凹槽(7.2),“十”字型凹槽(7.2)的交叉处有更深入的圆槽(7.3),“十”字型凹槽(7.2)内嵌入与螺母座7侧面相同大小的与“十”字型凹槽(7.2)和圆槽(7.3)配合的固定块(11),固定块(11)上与嵌入螺母座(7)相对的面上上下设有两块耳板(12),工件盘托架(13)通过螺栓(14)固定在两块耳板(12)中间,工件盘托架(13)的端头处固定有支柱(15),支柱(15)上固定有锥形体(16)。
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