[实用新型]一种真空镀膜机的上盘装置有效
| 申请号： | 201820182550.3 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN208026890U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 侯丽荣;王晓露;张建青 | 申请（专利权）人： | 天津市宇航兴达真空设备制造有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 301822 天津市宝坻区宝坻节能环保工业区天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件盘 固定座 托架 螺母座 丝杠 减速器 真空镀膜机 底固定座 上盘装置 框支架 螺纹 耳板 光杆 转动 穿过 本实用新型 工件托盘 结构空间 灵活调整 螺栓固定 螺栓水平 丝杠顶端 电动机 固定块 锥形体 标高 端头 竖直 占用 | ||
1.一种真空镀膜机的上盘装置，其特征在于，包括框支架(5)和工件盘托架(13)，框支架(5)的底部和上部分别为底固定座(10)和顶固定座(4)，底固定座(10)和顶固定座(4)间固定一根带螺纹的丝杠(6)和一根不带螺纹的光杆(8)，丝杠(6)的顶端穿过顶固定座(4)，顶固定座(4)上固定有相互连接的电动机(1)和减速器(2)，减速器(2)与丝杠(6)顶端连接，丝杠(6)上设有螺母座(7)，螺母座(7)同时穿过光杆(8)，螺母座(7)在远离框支架(5)的一侧面开有“十”字型凹槽(7.2)，“十”字型凹槽(7.2)的交叉处有更深入的圆槽(7.3)，“十”字型凹槽(7.2)内嵌入与螺母座7侧面相同大小的与“十”字型凹槽(7.2)和圆槽(7.3)配合的固定块(11)，固定块(11)上与嵌入螺母座(7)相对的面上上下设有两块耳板(12)，工件盘托架(13)通过螺栓(14)固定在两块耳板(12)中间，工件盘托架(13)的端头处固定有支柱(15)，支柱(15)上固定有锥形体(16)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的上盘装置，其特征在于，所述的丝杠(6)的顶部在顶固定座(4)上还套接有编码器(3)，同时编码器(3)连接至电动机(1)。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的上盘装置，其特征在于，所述的螺母座(7)上离框支架(5)较近的侧面上与工件盘托架(13)同一水平位置处设有标高指针(7.1)，框支架(5)的底固定座(10)和顶固定座(4)间的侧壁上设有标高刻度(9)。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的上盘装置，其特征在于，所述的工件盘托架(13)呈三角形。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市宇航兴达真空设备制造有限公司，未经天津市宇航兴达真空设备制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820182550.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：雨量计的检定仪
- 下一篇：一种膜系结构及其面板
