[实用新型]冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统

摘要

本实用新型提供一种冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，包括石墨烯制备机构与量值保证机构，石墨烯制备机构包括主腔体；真空测控单元，测量真空度；温度测控单元，测量温度；液体流量测控单元，测量循环冷却液流量；气体流量测控单元，测量气体流量；量值保证机构包括量值保证单元与控制处理单元，量值保证单元包括参考热电偶、参考真空传感器与测量热电偶、测量真空传感器并联连接，参考气体流量计、参考液体流量计与气体流量计、液体流量计串联连接；控制处理单元与上述部件通信连接，控制上述部件的工作。本实用新型在冷壁CVD法制备石墨烯过程中，实现工艺参数量值保证，确保不同批次制备石墨烯质量的稳定。

主权项

1.一种冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，包括石墨烯制备机构与量值保证机构，所述石墨烯制备机构包括主腔体、真空测控单元、温度测控单元、液体流量测控单元、气体流量测控单元，所述量值保证机构包括量值保证单元、控制处理单元，其中：真空测控单元，包括测量真空传感器，用于测量所述主腔体内的真空度；温度测控单元，包括测量热电偶，用于测量所述主腔体内的温度；液体流量测控单元，包括液体流量计，用于测量所述主腔体外的循环冷却液流量；气体流量测控单元，包括气体流量计，用于测量进入所述主腔体内的气体流量；量值保证单元，包括参考热电偶、参考真空传感器、参考气体流量计、参考液体流量计，分别获取参考温度、参考真空度、参考气体流量、参考循环冷却液流量，其中，所述参考热电偶、所述参考真空传感器分别与对应的测量热电偶、测量真空传感器并联连接，所述参考气体流量计、所述参考液体流量计分别与对应的气体流量计、液体流量计串联连接；控制处理单元，与所述真空测控单元、所述温度测控单元、所述液体流量测控单元、所述气体流量测控单元、所述量值保证单元通信连接。