[实用新型]一种硅模板表面加工装置有效
| 申请号： | 201820137872.6 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN207913806U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 潘尧 | 申请（专利权）人： | 苏州锐材半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 陆晓鹰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅模板表面加工装置，包括一基座，所述基座上端连接有氧化池及腐蚀池，还包括一倒置U型架体，架体底部通过连接杆连接有一底部设有滑道的基板，滑道上横向滑动连接有伺服滑动块，伺服滑动块底部连接有伺服液压升降装置，伺服液压升降装置底部连接有伺服液压钳装置；同时，基座左侧设有自动接料装置，右侧设有自动送料装置；本实用新型采用自动横向、纵向移动装置和自动抓取、取料送料装置，可自动进行氧化以及进行氢氟酸内的腐蚀，大大提高了操作的便捷度，而且使加工物的表面粗糙度小于20nm。 | ||
| 搜索关键词： | 伺服液压 表面加工装置 本实用新型 伺服 底部连接 升降装置 硅模板 滑动块 滑道 横向滑动连接 自动接料装置 自动送料装置 纵向移动装置 表面粗糙度 连接杆连接 倒置U型架 送料装置 自动横向 自动抓取 便捷度 腐蚀池 加工物 钳装置 氢氟酸 氧化池 上端 基板 架体 取料 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种硅模板表面加工装置，包括一基座，所述基座上端从左到右可拆式连接有氧化池以及用于放置氢氟酸的腐蚀池，还包括一倒置U型架体，所述倒置U型架体底部通过连接杆连接有一底部设有滑道的基板，其特征在于，所述滑道上横向滑动连接有基于伺服控制的伺服滑动块，所述伺服滑动块底部连接有基于伺服控制的伺服液压升降装置，所述伺服液压升降装置底部连接有基于伺服控制的伺服液压钳装置；同时，所述基座左侧设有自动接料装置，所述基座右侧设有自动送料装置，所述倒置U型架体左侧设有可供自动接料装置伸进和伸出的第一通孔；所述倒置U型架体右侧设有可供自动送料装置伸进和伸出的第二通孔。
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