[实用新型]一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具有效
申请号: | 201820121803.6 | 申请日: | 2018-01-24 |
公开(公告)号: | CN207239977U | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 杨舒童;崔胜友 | 申请(专利权)人: | 济南晶众光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业)37232 | 代理人: | 姜月磊 |
地址: | 250000 山东省济南市高新区开*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具,包括底座,底座底部设有一凹槽,凹槽内设有一水平设置的平面平晶,平面平晶通过套设于平面平晶周向的密封圈卡装在凹槽内,平面平晶的上表面与凹槽的内表面相接触,平面平晶的下表面粘接有一真空吸附垫,平面平晶内沿竖直方向开设有若干通气孔,每个通气孔分别通过设在底座内的吸气通道与底座上部内的主吸气通道相连通,底座顶部安装有一与主吸气通道相连通的真空旋转接头。本实用新型采用上述方案,它结构简单,设计合理,采用负压吸附在抛光过程中对薄片大口径DKDP晶体提供稳定的夹持,匀性加压,不损伤晶体表面,不产生压痕,操作简单,可随时对抛光中的晶体进行检测,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄片 口径 dkdp 晶体 抛光 夹具 | ||
【主权项】:
一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具,其特征在于:包括底座,底座底部设有一凹槽,凹槽内设有一水平设置的平面平晶,平面平晶通过套设于平面平晶周向的密封圈卡装在凹槽内,平面平晶的上表面与凹槽的内表面相接触,平面平晶的下表面粘接有一真空吸附垫,平面平晶内沿竖直方向开设有若干通气孔,每个通气孔分别通过设在底座内的吸气通道与底座上部内的主吸气通道相连通,底座顶部安装有一与主吸气通道相连通的真空旋转接头。
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