[实用新型]一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具有效
申请号: | 201820121803.6 | 申请日: | 2018-01-24 |
公开(公告)号: | CN207239977U | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | 杨舒童;崔胜友 | 申请(专利权)人: | 济南晶众光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业)37232 | 代理人: | 姜月磊 |
地址: | 250000 山东省济南市高新区开*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄片 口径 dkdp 晶体 抛光 夹具 | ||
1.一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具,其特征在于:包括底座,底座底部设有一凹槽,凹槽内设有一水平设置的平面平晶,平面平晶通过套设于平面平晶周向的密封圈卡装在凹槽内,平面平晶的上表面与凹槽的内表面相接触,平面平晶的下表面粘接有一真空吸附垫,平面平晶内沿竖直方向开设有若干通气孔,每个通气孔分别通过设在底座内的吸气通道与底座上部内的主吸气通道相连通,底座顶部安装有一与主吸气通道相连通的真空旋转接头。
2.根据权利要求1所述的一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具,其特征在于:所述真空吸附垫为聚氨酯多孔膜。
3.根据权利要求1所述的一种薄片大口径DKDP晶体抛光夹具,其特征在于:所述底座的横截面为圆形。
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