[实用新型]黑硅槽药液成份在线式监控装置

摘要

本实用新型涉及一种黑硅槽药液成份在线式监控装置，具有测量管，所述测量管管路连接盛装有多个银离子药液的槽体，所述的测量管前端通过进液管管路连通有药液检测仪，测量管后端连接有排液管，进液管上连接有用于通入辅助排液气体的氮气管，氮气管的管路上设有控制辅助排液气体排出的排液气动阀，排液管的管路上设有排废气动阀，所述的进液管的管路上设有单向控制阀。本实用新型通过氮气管将氮气通入测量管内，对测量管内的残留药液辅助排废，废液通过排废气动阀从排液管排出，以此可有效地避免各槽体之间药液互相污染和对测量效果的影响，从而达到了提高药液测量精度的要求。

主权项

1.一种黑硅槽药液成份在线式监控装置，具有测量管(1)，所述测量管(1)管路连接盛装有银离子药液的多个槽体(2)，其特征是：所述的测量管(1)前端通过进液管(3)管路连通有药液检测仪(4)，测量管(1)后端连接有排液管(5)，进液管(3)上连接有用于通入辅助排液气体的氮气管(6)，氮气管(6)的管路上设有控制辅助排液气体排出的排液气动阀(7)，排液管(5)的管路上设有排废气动阀(8)，所述的进液管(3)的管路上设有单向控制阀(9)。