[实用新型]黑硅槽药液成份在线式监控装置有效

专利信息
申请号: 201820097201.1 申请日: 2018-01-19
公开(公告)号: CN207779994U 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 吴佳俊;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 王美华
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 测量管 氮气管 排液管 气动阀 排废 排液 本实用新型 监控装置 药液成份 进液管 在线式 槽体 黑硅 排出 测量 氮气 单向控制阀 测量效果 药液检测 银离子 有效地 废液 进液 连通 盛装 残留 污染
【说明书】:

本实用新型涉及一种黑硅槽药液成份在线式监控装置,具有测量管,所述测量管管路连接盛装有多个银离子药液的槽体,所述的测量管前端通过进液管管路连通有药液检测仪,测量管后端连接有排液管,进液管上连接有用于通入辅助排液气体的氮气管,氮气管的管路上设有控制辅助排液气体排出的排液气动阀,排液管的管路上设有排废气动阀,所述的进液管的管路上设有单向控制阀。本实用新型通过氮气管将氮气通入测量管内,对测量管内的残留药液辅助排废,废液通过排废气动阀从排液管排出,以此可有效地避免各槽体之间药液互相污染和对测量效果的影响,从而达到了提高药液测量精度的要求。

技术领域

本实用新型涉及一种黑硅槽药液成份在线式监控装置。

背景技术

太阳能电池硅片生产工艺采用的400片黑硅槽式设备中,各槽体内药液含银离子浓度需要实时监控,监测时用管道连接需要监控的各槽体,由控制电路定时获取各个槽体需要测量的药液,送至测量设备中,这样几个槽体就可共用一个测量设备。但在每次测量一个槽体药液后,测量管道内通常会有上次检测的残留液体,造成各槽体之间的药液互相污染和取样量的误差,从而影响各槽体药液测量精度的准确性。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术中之不足,本实用新型提供一种能有效防止各槽体之间药液相互污染、提高测量准确性的黑硅槽药液成份在线式监控装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种黑硅槽药液成份在线式监控装置,具有测量管,所述测量管管路连接盛装有多个银离子药液的槽体,所述的测量管前端通过进液管管路连通有药液检测仪,测量管后端连接有排液管,进液管上连接有用于通入辅助排液气体的氮气管,氮气管的管路上设有控制辅助排液气体排出的排液气动阀,排液管的管路上设有排废气动阀,所述的进液管的管路上设有单向控制阀。

为便于控制各槽体药液通入测量管,所述的槽体与测量管之间的管路上设有控制待测药液通入测量管的气动控制阀。

本实用新型的有益效果是:本实用新型通过氮气管将氮气通入测量管内,对测量管内的残留药液辅助排废,废液通过排废气动阀从排液管排出,测量管内的废液排干净后,关闭相应管路上的阀门,进行下一个槽体内药液的检测,以此可有效地避免各槽体之间药液互相污染和对测量效果的影响,从而达到了提高药液测量精度的要求。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中:1.测量管 2.槽体 3.进液管 4.药液检测仪 5.排液管 6.氮气管 7.排液气动阀 8.排废气动阀 9.单向控制阀 10.气动控制阀

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的一种黑硅槽药液成份在线式监控装置,具有测量管1,所述测量管1管路连接盛装有银离子药液的四个槽体2,每个槽体2与测量管1之间的管路上均设有控制待测药液通入测量管1的气动控制阀10。

所述的测量管1前端通过进液管3管路连通有药液检测仪4,测量管1后端连接有排液管5,进液管3上连接有用于通入辅助排液气体的氮气管6,氮气管6的管路上设有控制辅助排液气体排出的排液气动阀7,排液管5的管路上设有排废气动阀8,所述的进液管3的管路上设有单向控制阀9。

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