[实用新型]一种三自由度定位平台

摘要

本实用新型揭示了一种三自由度定位平台，包括动平台和静平台。动平台包括安装座、动子部分以及旋转轴。静平台包括平台底座，设置在平台底座上的定子部分，平行设置在平台底座上的X方向直线导轨、设置在X方向直线导轨上的X方向导轨滑块、X方向转接板，以及平行设置在X方向转接板上的Y方向直线导轨、设置在Y方向直线导轨上的Y方向导轨滑块、旋转转接板，以及设置在旋转转接板上的轴承支架、设置在轴承支架上的轴承。轴承套设在旋转轴上，动子部分与定子部分对应设置并构成电磁驱动模块。本实用新型采用回字形结构定位平台，定子线圈采用集中绕组，简化了定位平台的结构，提高了功率密度，可实现长行程的精密定位，可用于IC制造业的精密定位。

主权项

1.一种三自由度定位平台，包括动平台(100)和静平台(200)，其特征在于：所述动平台(100)包括安装座(16)、设置在所述安装座(16)上的动子部分以及旋转轴(20)；所述静平台(200)包括：平台底座(1)；设置在所述平台底座(1)上的定子部分；平行设置在所述平台底座(1)上的X方向直线导轨(7)，设置在所述X方向直线导轨(7)上的X方向导轨滑块(8)、X方向转接板(9)；以及平行设置在所述X方向转接板(9)上的Y方向直线导轨(12)，设置在所述Y方向直线导轨(12)上的Y方向导轨滑块(14)、旋转转接板(13)；以及设置在所述旋转转接板(13)上的轴承支架(5)、设置在所述轴承支架(5)上的轴承(6)；其中，所述轴承(6)套设在所述旋转轴(20)上，所述动子部分与所述定子部分对应设置并构成电磁驱动模块。