[实用新型]一种可调式电容屏溅射镀膜机

摘要

本实用新型提供一种可调式电容屏溅射镀膜机，包括舱室、靶材机构和运输机构，其特征在于：所述靶材机构设置在舱室内部相对的左右两侧壁上，所述的舱室的下方设置运输机构，所述运输机构沿着中轴线的方向设置有用于固定电容屏玻璃板的基片架，溅射镀膜过程中所述电容屏玻璃板固定在基片架内沿着舱室的中轴线方向由舱口传送至出舱口，电容屏玻璃板与设置于左右两侧的靶材机构的靶材基体相平行，所述靶材机构上设置有水平调节机构，通过设置的水平调节机构实现了对磁性板与靶材基体的间距调节，通过改变电子的受力场从而实现了对电容屏玻璃板镀膜厚度的调节，提高工艺设备的灵活性和适用性。

主权项

1.一种可调式电容屏溅射镀膜机，包括舱室、靶材机构、水平调节机构和运输机构，其特征在于：所述靶材机构设置在舱室内部相对的左右两侧壁上，所述的舱室的下方设置运输机构，所述运输机构沿着中轴线的方向设置有基片架，电容屏玻璃板固定在基片架内，电容屏玻璃板与设置于左右两侧的靶材机构的靶材基体相平行，所述靶材机构包括磁性板、金属背板和靶材基体，靶材基体的正面设置有阳极罩，金属背板设置在靶材基体的背面上且金属背板通过螺钉固定在舱室的侧壁上，磁性板通过水平调节机构活动设置在金属背板后，磁性板上设置有磁铁片，金属背板上设置有和磁铁片相对应的凹槽，磁铁片嵌入对应的凹槽内；所述水平调节机构包括固定框架和调节螺杆，所述固定框架呈环形结构且固定在舱室左右两侧的侧壁上，固定框架至少有相对的两边设置固定槽，磁性板的边部嵌入对应的固定槽内，固定槽内设置有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一端固定在固定槽的内壁上，另一端顶住磁性板的内侧面；调节螺杆可旋转地安装在固定框架的侧板上，调节螺杆的一端外露于固定框架作为调节端，另一端顶住磁性板的外侧面。