[实用新型]一种等离子体刻蚀机抽气口用外罩

摘要

本实用新型提供了一种等离子体刻蚀机抽气口用外罩。所述外罩包括连接部、气流部、遮挡部与止锁部，所述连接部的一侧开设有连接口，所述连接部的顶部内径大于所述连接部的底部内径，所述气流部设置于所述连接部的顶部，所述气流部上开设有通气口，所述通气口与所述连接口互相连通，所述气流部的底部内径与所述连接部的顶部内径相等，所述气流部的顶部内径小于所述气流部的底部内径，所述遮挡部设置于所述气流部顶部远离所述通气口的一侧，且所述遮挡部的一端设置有过渡部，所述过渡部与所述气流部连接，所述止锁部设置于所述连接部的一侧。本实用新型的等离子体刻蚀机抽气口用外罩，密封性较好、间接提高刻蚀效率。

主权项

1.一种等离子体刻蚀机抽气口用外罩，其特征在于：包括连接部、气流部、遮挡部与止锁部，所述连接部的一侧开设有连接口，所述连接部的顶部内径大于所述连接部的底部内径，所述气流部设置于所述连接部的顶部，所述气流部上开设有通气口，所述通气口与所述连接口互相连通，所述气流部的底部内径与所述连接部的顶部内径相等，所述气流部的顶部内径小于所述气流部的底部内径，所述遮挡部设置于所述气流部顶部远离所述通气口的一侧，且所述遮挡部的一端设置有过渡部，所述过渡部与所述气流部连接，所述止锁部设置于所述连接部的一侧，所述止锁部包括止锁环、拉动条与调节架，所述止锁环套设于所述连接部上，所述拉动条一端与所述止锁环相连接，所述拉动条的另一端与所述调节架相连接，拉动所述调节架可带动所述止锁环伸缩，使得所述止锁环的伸缩幅度随所述拉动条拉动幅度变化而变化。