[发明专利]一种软X射线显微成像装置

摘要

本申请提供一种软X射线显微成像装置，包括软X射线光源、三维位移机构、真空单元、激光单元、反射单元、样本室和探测器，软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，三维位移机构分别与制冷腔和真空靶室连接，真空靶室具有相对的两个出口；真空单元包括分别与真空靶室的两个出口连接的第一真空泵和第二真空泵；脉冲激光发生器发出的经过激光聚焦镜后聚焦于喷嘴处；反射单元具有第二反射镜；样本室与真空靶室连通，样本室内容置毛细玻璃管，毛细玻璃管的位置与喷嘴以及反射镜的焦点对应；探测器与样本室连接并与毛细玻璃管的位置对应。本申请探测精确、效率高、节约成本。

主权项

1.一种软X射线显微成像装置，所述软X射线显微成像装置包括软X射线光源，所述软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，所述制冷腔和所述喷嘴容置于所述真空靶室内，所述喷嘴设置于所述制冷腔上，其特征在于，所述软X射线显微成像装置还包括：三维位移机构，所述三维位移机构分别与所述制冷腔和所述真空靶室连接，所述真空靶室具有相对的两个出口；真空单元，所述真空单元包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵分别与所述真空靶室的两个出口连接；激光单元，所述激光单元包括脉冲激光发生器以及激光聚焦镜，所述脉冲激光发生器发出的激光经过所述激光聚焦镜后聚焦于所述喷嘴处；反射单元，所述反射单元具有第二反射镜，所述反射单元与所述真空靶室连通；样本室，所述样本室与所述真空靶室连通，所述样本室内容置毛细玻璃管，所述毛细玻璃管的位置与所述喷嘴以及所述反射镜的焦点对应；以及探测器，所述探测器与所述样本室连接并与所述毛细玻璃管的位置对应。