[发明专利]一种用于溅射设备真空室壁的内衬膜及制备方法在审
| 申请号： | 201811638327.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109719021A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 周利红;黄平建 | 申请（专利权）人： | 宁波高新区敦和科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D7/24 | 分类号： | B05D7/24;B05D7/02;B05D7/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315040 浙江省宁波市高*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于溅射设备真空室壁的内衬膜及制备方法，所述内衬膜由基底层、离型层、胶粘层、薄膜层组成，所述胶粘层和所述薄膜层由可降解高分子材料组成。本发明制备的内衬膜用于保护溅射设备的真空室壁，使之免于在进行溅射工艺时被污染，使得所得真空室易于清洁，有效延长了溅射设备真空室的使用寿命，由于所用的制备材料由于主要是可降解高分子材料，所以能更为快捷再回收利用靶材材料，且不带入杂质，从而提高溅射靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射设备 内衬膜 真空室壁 制备 可降解高分子材料 薄膜层 胶粘层 真空室 靶材材料 溅射靶材 使用寿命 制备材料 基底层 离型层 再回收 溅射 清洁 污染 | ||
【主权项】：
1.一种溅射设备真空室壁的内衬膜，其特征在于，所述内衬膜由基底层、离型层、胶粘层、薄膜层组成，所述胶粘层和由可降解高分子材料组成，所述薄膜层由甲壳素纤维和一种或数种可降解高分子材料组成。
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