[发明专利]靶材组件及其制造方法在审
| 申请号： | 201811637987.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111378938A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;郭小康 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供背板；在所述背板部分表面依次形成第一中间层和靶材；在所述靶材的顶部及侧壁表面形成第二中间层，且所述第二中间层覆盖所述背板暴露的表面；对所述背板、所述第一中间层及所述靶材进行焊接处理，以形成靶材组件。本发明有助于解决现有技术制造的靶材组件焊接过程中存在内部应力导致的内部微裂纹问题，提高了所述靶材组件的焊接质量。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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