[发明专利]基板抛光系统和基板抛光控制方法在审
| 申请号： | 201811635380.0 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109702626A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 孙辉辉;付丽丽 | 申请（专利权）人： | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B37/005;B24B49/00;B24B49/12;B24B55/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种基板抛光系统和基板抛光控制方法，其中，所述基板抛光系统包括主控设备、变频器、抛光装置，所述抛光装置包括旋转电机、第一伺服电机、第二伺服电机、第一引动器、第二引动器和抛光轮；所述变频器与所述主控设备和所述旋转电机分别连接，所述旋转电机的输出轴与所述抛光轮连接，所述主控设备还与所述第一伺服电机和所述第二伺服电机分别连接，所述第一引动器与所述第一伺服电机的连接，所述第二引动器与所述第二伺服电机连接，所述第一引动器的固定背板与所述第二引动器的活动背板固定连接，所述旋转电机安装于所述第二引动器。本发明通过对基板抛光系统的巧妙化、智能化的设计，能够有效提高玻璃基板的研磨品质。 | ||
| 搜索关键词： | 引动器 伺服电机 基板抛光 旋转电机 主控设备 抛光装置 变频器 抛光轮 玻璃基板 固定背板 活动背板 抛光系统 研磨 对基板 输出轴 智能化 | ||
【主权项】：
1.一种基板抛光系统，其特征在于，所述基板抛光系统包括主控设备、变频器、抛光装置，所述抛光装置包括旋转电机、第一伺服电机、第二伺服电机、第一引动器、第二引动器和抛光轮；所述变频器与所述主控设备和所述旋转电机分别连接，所述旋转电机的输出轴与所述抛光轮连接，所述主控设备还与所述第一伺服电机和所述第二伺服电机分别连接，所述第一引动器与所述第一伺服电机的连接，所述第二引动器与所述第二伺服电机连接，所述第一引动器的固定背板与所述第二引动器的活动背板固定连接，所述旋转电机安装于所述第二引动器；其中，所述变频器用于在所述主控设备的控制下控制所述旋转电机带动所述抛光轮运转以对待处理基板进行抛光处理；所述第一引动器用于在所述第一伺服电机的驱动下带动所述第二引动器延第一方向移动，进而带动所述抛光轮延第一方向运动；所述第二引动器用于在所述第二伺服电机的驱动下带动所述抛光轮延第二方向运动。
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