[发明专利]一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法在审

专利信息
申请号: 201811635042.7 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109437587A 公开(公告)日: 2019-03-08
发明(设计)人: 蒋飚;赵和英;郭之军;刘邦伟;李建明;吴海波;李能武;钟赤宇 申请(专利权)人: 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
主分类号: C03C17/32 分类号: C03C17/32
代理公司: 贵阳东圣专利商标事务有限公司 52002 代理人: 袁庆云
地址: 550014 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 发明公开了一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法,包括:将软胶膜原料加入真空夹套反应釜中,加热至反应釜内温度在60‑70℃,抽真空度至0.055MPa,搅拌4‑4.5小时,得到透明软胶膜浆料放入料槽,料槽中的浆料保持在3/4液位;将石英源瓶安装到可旋转的夹具上,推送到石英源瓶恒温箱中预热,待石英源瓶预热10‑20分钟后,转移至料槽正上方,将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中,浸没1‑2分钟后,石英源瓶完全脱离料槽;塑化时间3‑5分钟,将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2‑5分钟,得到镀膜的石英源瓶。本发明能有效防止有毒化学品的泄漏,安全环保。
搜索关键词: 石英源瓶 料槽 浸没 镀膜 塑化 电子化学品 透明软胶 反应釜 膜浆料 预热 盛放 夹具 安全环保 抽真空度 可旋转的 真空夹套 恒温箱 化学品 冷水槽 软胶膜 放入 浆料 液位 加热 冷却 泄漏 脱离
【主权项】:
1.一种用于盛放电子化学品石英源瓶的镀膜方法,包括如下步骤:(1)将软胶膜原料加入真空夹套反应釜中,加热至反应釜内温度在60‑70℃,抽真空度至0.055MPa,搅拌4‑4.5小时,得到透明软胶膜浆料;(2)将所得透明软胶膜浆料从反应釜底部放入料槽,料槽中的浆料保持在3/4液位;(3)将石英源瓶安装到可旋转的夹具上,推送到石英源瓶恒温箱中预热,恒温箱温度保持140‑150℃;(4)待石英源瓶预热10‑20分钟后,转移至料槽正上方,将整个石英源瓶浸没在透明软胶膜浆料中,浸没1‑2分钟后,石英源瓶完全脱离料槽;(5)将浸没后的石英源瓶推送到恒温箱中进行塑化,控制温度250‑260℃,塑化时间3‑5分钟,退出塑化恒温箱;(6)将塑化后的石英源瓶浸没入冷水槽内冷却2‑5分钟,石英源瓶的外壁上镀上了一层透明软胶膜,得到镀膜的石英源瓶。
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