[发明专利]一种物理气相沉积用镀膜夹具有效
| 申请号： | 201811632052.5 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109554681B | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 张而耕;李康;周琼;陈强;黄彪;张思渝 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物理气相沉积用镀膜夹具，包括底座，承载工件的基板和设于底座和基板之间用于连接底座和基板的筋板，基板的上表面呈十字型，其四个端部上方分别固接有夹紧装置，夹紧装置由支座，推进螺栓和触头组成，基板上设有若干对规律的螺纹孔一，支座通过固定螺栓穿过螺纹孔一与基板固接，推进螺栓通过支座上开设的螺纹孔二螺接于支座内侧，触头固接于推进螺栓的端部，基板上还设有若干对上接通孔，上接通孔通过支撑杆与其它物理气相沉积用镀膜夹具相连，本发明结构简单、牢固，便于制造，操作便捷，涂层效率高，通用性强，可满足不同工件涂层需求，大幅减少工件涂层夹具数量，降低涂层成本，经济可靠，应用前景广阔，有利于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种物理气相沉积用镀膜夹具，其特征在于，包括底座，承载工件的基板和设于底座和基板之间用于连接底座和基板，同时支撑基板的筋板，所述基板的上表面呈十字型，其四个端部上方分别固接有夹紧装置，所述夹紧装置由支座，推进螺栓和触头组成，所述基板上设有若干对规律的螺纹孔一，所述支座通过固定螺栓穿过所述螺纹孔一与基板固接，所述推进螺栓通过支座上开设的螺纹孔二螺接于支座内侧，所述触头固接于推进螺栓的端部，所述基板上还设有若干对上接通孔。
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