[发明专利]一种多层背电极、薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多层背电极的制备方法，包括：在基底的一侧表面镀制第一钼层，镀制过程中控制气压由第一气压值连续下降至第二气压值；在第一钼层的表面镀制第二钼层，镀制过程中控制气压保持在第二气压值；在第二钼层的表面镀制第三钼层，镀制过程中控制气压由第二气压值连续升高至第三气压值。本发明通过在镀制背电极膜层即钼薄膜的不同阶段，使用不同的气压，通过控制气压连续变化，优化了背电极膜层的结构，降低了背电极膜层的应力，同时减少了背电极膜层的界面差异，提高了耐高温性能；通过引入高气压的第三钼层，提高了背电极膜层的表面粗糙度，降低了反射率，实现了表面陷光效应，提高了光吸收效率。

主权项

1.一种多层背电极的制备方法，其特征在于，包括：在基底的一侧表面镀制第一钼层，镀制过程中控制气压由第一气压值连续下降至第二气压值；在所述第一钼层的表面镀制第二钼层，镀制过程中控制气压保持在第二气压值；在所述第二钼层的表面镀制第三钼层，镀制过程中控制气压由第二气压值连续升高至第三气压值。