[发明专利]双面图案化的方法及触控面板的制造方法有效
| 申请号： | 201811623090.4 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109614008B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡汉龙;陈秉扬;陈俊铭 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 双面图案化的方法包含以下步骤，提供透明叠层。此透明叠层具有第一表面及与其相对的第二表面。分别形成图案化第一光阻层和图案化第二光阻层于第一表面和第二表面上。形成透明层覆盖图案化第一光阻层。以图案化第二光阻层为遮罩，图案化透明层。利用此方法可降低多道微影制程间的累积对位误差。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 图案 方法 面板 制造 | ||
【主权项】：
1.一种双面图案化的方法，其特征在于，包含：提供一透明叠层，该透明叠层具有一第一表面及与其相对之一第二表面；分别形成一图案化第一光阻层和一图案化第二光阻层于该第一表面和该第二表面上；形成一透明层覆盖该图案化第一光阻层；以及以该图案化第二光阻层为遮罩，图案化该透明层。
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