[发明专利]一种声表滤波器及制作方法在审
| 申请号： | 201811622047.6 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109462384A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 董启明 | 申请（专利权）人： | 河北时硕微芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 杨玉廷 |
| 地址： | 065300 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种声表滤波器及制作方法，包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器，所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。所述散射结构为金属条，所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。制作方法包括以下步骤：清洗；镀膜；去静电；光刻；腐蚀。本申请的有益效果是通过在基片上设置换能器以及金属条结构的散射结构，使得经过所述散射结构的信号发生散射，进而避免了信号经基片端面反射后直接进入换能器内部而产生较大寄生杂波的影响，优化了滤波器的通带波动、带外抑制等电性能指标。 | ||
| 搜索关键词： | 换能器 散射结构 金属条 声表滤波器 制作 滤波器 带外抑制 方向设置 基片端面 金属薄膜 通带波动 信号传输 信号发生 锯齿状 去静电 散射 寄生 侧边 等电 镀膜 光刻 杂波 反射 申请 清洗 垂直 腐蚀 侧面 优化 | ||
【主权项】：
1.一种声表滤波器，其特征在于，包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器，所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。
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