[发明专利]可动态控制调整入刷位置的晶圆片刷洗方法在审
| 申请号： | 201811614249.6 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109731813A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 孙德全;师开鹏;张峰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/02;B08B11/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可动态控制调整入刷位置的晶圆片刷洗方法，解决了现有的滚刷不能均匀地擦抹整个晶圆片的表面的问题。在左支撑板（22）与右支撑板（23）之间设置有丝杠（29），在丝杠（29）上分别设置有左丝杠螺母移动块（35）和右丝杠螺母移动块（28），在左丝杠螺母移动块上设置有从动轮（27），在右丝杠螺母移动块（28）上设置有主动轮（26），晶圆片传送皮带（24）上的晶圆片（25）与从动轮（27）及主动轮顶接，在左支撑板（22）的外侧面上设置有伺服驱动电机（31），伺服驱动电机与丝杠（29）连接；在丝杠（29）的后侧的左支撑板与右支撑板之间设置滚刷，滚刷是设置在晶圆片（25）上方的。可大大提高刷洗清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆片 螺母移动块 丝杠 左支撑板 滚刷 伺服驱动电机 动态控制 右支撑板 从动轮 右丝杠 左丝杠 清洁度 传送皮带 整个晶圆 主动轮 擦抹 顶接 动轮 | ||
【主权项】：
1.一种可动态控制调整入刷位置的晶圆片刷洗方法，包括以下步骤：第一步、在左支撑板（22）与右支撑板（23）之间设置丝杠（29），在丝杠（29）上分别设置左丝杠螺母移动块（35）和右丝杠螺母移动块（28），在左丝杠螺母移动块（35）上设置从动轮（27），在右丝杠螺母移动块（28）上设置主动轮（26），晶圆片传送皮带（24）上的晶圆片（25）与从动轮（27）及主动轮（26）顶接在一起，在左支撑板（22）的外侧面上设置伺服驱动电机（31），伺服驱动电机（31）与丝杠（29）连接在一起；第二步、通过控制伺服驱动电机（31）正转，使左丝杠螺母移动块（35）与右丝杠螺母移动块（28）相向移动，使在左丝杠螺母移动块（35）上设置的从动轮（27）与在右丝杠螺母移动块（28）上设置的主动轮（26）之间的间距缩小，从动轮（27）和主动轮（26）对晶圆片（25）的顶接，使晶圆片（25）沿晶圆片传送皮带（24）向后移动，使滚刷在晶圆片（25）表面上的落刷位置向晶圆片（25）外圆位置移动；第三步、通过控制伺服驱动电机（31）反转，使左丝杠螺母移动块（35）与右丝杠螺母移动块（28）相背移动，使在左丝杠螺母移动块（35）上设置的从动轮（27）与在右丝杠螺母移动块（28）上设置的主动轮（26）之间的间距扩大，从动轮（27）和主动轮（26）对晶圆片（25）的顶接，使晶圆片（25）沿晶圆片传送皮带（24）向前移动，使滚刷在晶圆片（25）表面上的落刷位置向晶圆片（25）圆心位置移动；第四步、重复第二步和第三步，不断改变滚刷与晶圆片（25）上表面的接触位置，实现对晶圆片的高效率清洁。
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