[发明专利]用于多轴位置测量的协作测量规系统有效
申请号: | 201811608111.5 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN110017801B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | M.纳胡姆 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 葛青 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 第一位置测量装置(“FPMD”)配置为控制和操作独立装置操作模式和组合装置操作模式两者。在组合装置操作模式期间,FPMD输入经由装置间通信连接通过第二位置测量装置(“SPMD”)提供的第二装置测量采样输出。FPMD和SPMD在工件测量布置中保持固定关系(例如,具有横交测量轴线)。并行测量数据组被确定为包括与并行第一装置采样周期和第二装置采样周期对应的来自FPMD的至少第一装置测量采样输出和来自SPMD的第二装置测量采样输出。每个并行测量数据组与工件上的相应测量采样区域相关联。基于相应的并行测量数据组,提供工件上的当前测量采样区域的组合测量数据输出(例如,由FPMD输出和/或显示)。 | ||
搜索关键词: | 用于 位置 测量 协作 系统 | ||
【主权项】:
1.第一位置测量装置FPMD,包括:第一位置传感器,其容纳在第一装置壳体中,且被配置为提供第一装置测量采样输出,该第一装置测量采样输出表示在对应的第一装置采样周期期间在工件上的对应测量采样区域相对于FPMD沿第一测量轴线的工件表面坐标测量结果;和第一信号处理和控制部分,其容纳在第一装置壳体中,且包括用于实施组合装置操作模式的第一测量采样关联部分,其中,FPMD被配置为在独立操作时间段期间以独立操作模式操作,且在组合装置操作时间段期间以组合装置操作模式操作;其中:组合装置操作模式包括:与第二位置测量装置SPMD建立装置间通信连接,第二位置测量装置包括第二位置传感器,该第二位置传感器被配置为提供第二装置测量采样输出,第二装置测量采样输出表示在对应的第二装置采样周期期间在工件上的对应测量采样区域相对于SPMD沿第二测量轴线的工件表面坐标测量结果,其中,当FPMD和SPMD以固定关系保持在工件测量布置中时,其中第一测量轴线和第二测量轴线以固定轴线关系布置,组合装置操作模式是可用的;输入由第一位置传感器提供的第一装置测量采样输出;输入经由装置间通信连接由SPMD提供的第二装置测量采样输出;确定并行测量数据组,其包括与并行的第一装置采样周期和第二装置采样周期对应的至少第一装置测量采样输出和第二装置测量采样输出,每个并行测量数据组与工件上的对应测量采样区域相关联;以及基于对应的并行测量数据组,提供工件上的当前测量采样区域的组合测量数据输出;以及独立操作模式包括:不与SPMD建立装置间通信连接;以及提供独立测量数据输出,其包括在工件上的当前测量采样区域相对于FPMD沿第一测量轴线的工件表面坐标测量结果。
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