[发明专利]一种具有单调和线性输出特性的SAW温度传感器及其设计方法有效
| 申请号： | 201811601602.7 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109506808B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 彭斌;朱瑞浩;张万里;李凌;张文旭 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01K11/22 | 分类号： | G01K11/22 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
一种具有单调和线性输出特性的SAW温度传感器及其设计方法，属于声表面波传感器技术领域。本发明通过在同一压电基片上设计两个除平行外位置任意的SAW谐振器并进行连接作为SAW温度传感器使用，在设计两个SAW谐振器的结构参数使得二者谐振频率满足TCF |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 调和 线性 输出 特性 saw 温度传感器 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有单调和线性输出特性的SAW温度传感器，所述SAW温度传感器包括压电基片以及设置在所述压电基片上的两个SAW谐振器，其特征在于，所述两个SAW谐振器之间互不接触通过电路连接，并且两个SAW谐振器的声表面波传播方向形成夹角α，0﹤α﹤180波；所述两个SAW谐振器的谐振频率比满足以下关系：![]()
式中：f01和f02分别是两个SAW谐振器在参考温度T0时的谐振频率，TCF21和TCF22分别为两个SAW谐振器的二阶频率温度系数。
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