[发明专利]一种可自动检焦的激光扩束系统以及其检焦方法有效
申请号: | 201811587850.0 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109683328B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 何锋赟;潘媛媛;余毅;李冬宁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G01M11/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开一种可自动检焦的激光扩束系统以及检焦方法,所述可自动检焦的激光扩束系统包括检测光源、分光装置、参考光源、激光扩束装置、带孔遮光板和成像装置;检测光源与参考光源发出的平行光通过分光装置后共光路,经激光扩束装置,由于激光扩束装置的出射面为自准直面,所述自准直面上镀有分光膜,分光膜透射参考光、反射检测光,被反射的检测光,经带孔遮光板,成像于成像装置,根据孔的成像情况分析激光扩束系统的准直性,该方案解决了在激光扩束系统使用过程中出射光的准直性判断困难的问题,实现了实时监测激光扩束系统出射光的准直性,同时还可以在激光扩束系统的出射光被要求需要在某一定点处汇聚时,此光路仍可实时标定其目标的准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 激光 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种可自动检焦的激光扩束系统,其特征在于,包括检测光源(1),分光装置,参考光源(3),激光扩束装置(5),带孔遮光板(6)和成像装置(7);所述激光扩束装置(5)的出射面为镀有分光膜的自准直面;参考光源(3)与检测光源(1)发出的平行光经分光装置后共光路,经激光扩束装置(5),在激光扩束装置(5)的出射面处,参考光被透射,检测光被反射;被激光扩束装置(5)反射的检测光,原路返回,经分光装置反射,经带孔遮光板(6),在成像装置(7)处成像,根据孔的成像情况判断经激光扩束系统的参考光的准直性或对所述激光扩束系统的特定目标标定的情况。
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