[发明专利]气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法有效
| 申请号： | 201811585934.0 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109954414B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 中川洋一;小泽卓;渡边敏史;徐涛 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B01F23/23 | 分类号： | B01F23/23;B01F35/21 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 溶解 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体溶解液制造装置，其特征在于，具备：气体供给部，该气体供给部供给作为气体溶解液的原料的气体；第一液体供给部，该第一液体供给部供给作为所述气体溶解液的原料的第一液体；气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述第一液体供给部供给的第一液体，从而生成气体溶解液；第二液体生成部，该第二液体生成部循环并供给有在所述气体溶解液生成部生成的气体溶解液，从循环的所述气体溶解液中生成作为所述气体溶解液的原料的第二液体；第二液体供给部，该第二液体供给部将在所述第二液体生成部生成的所述第二液体供给到所述气体溶解液生成部；流量测定部，该流量测定部对供给到所述第二液体生成部并循环的所述气体溶解液的流量进行测定；以及控制部，该控制部对所述第一液体供给部和所述第二液体供给部进行控制，所述控制部根据由所述流量测定部测定的循环的所述气体溶解液的流量，对供给到所述气体溶解液生成部的所述第一液体的供给量进行控制，所述气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述第一液体供给部供给的所述第一液体和从所述第二液体供给部供给的所述第二液体，从而生成所述气体溶解液。
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