[发明专利]一种MWT+PERC太阳能电池的生产方法

摘要

本发明公开了一种MWT+PERC太阳能电池的生产方法，刻蚀工艺中在扩散后的电池片上保留PN结，然后退火；打孔工艺中，制作圆锥形孔洞，电池片正面孔洞直径小于背面孔洞直径；背钝化工艺时，在孔洞内部生成Al₂O₃膜；镀膜工艺时，孔洞背面和正面的SiNx膜都从表面向孔洞中部生长，最终在孔洞中相交汇，镀膜工艺后，孔洞内部形成SiNx膜，在结合之前的PN结和Al₂O₃膜，改善漏电情况；在堵孔过程中，选择合适的堵孔浆料，控制浆料对PN结、Al₂O₃膜和SiNx膜的侵蚀，进一步改善漏电情况，在接12V反向电流下，漏电流为2A及2A以下。同时保证浆料不会剥离、脱落的情况分发生。

主权项

1.一种MWT+PERC太阳能电池的生产方法，其特征在于：刻蚀工艺中在扩散后的电池片上保留PN结，然后退火；打孔工艺中，制作圆锥形孔洞，电池片正面孔洞直径小于背面孔洞直径；背钝化工艺时，在孔洞内部生成Al2O3膜；镀膜工艺时，孔洞背面和正面的SiNx膜都从表面向孔洞中部生长，最终在孔洞中相交汇，镀膜工艺后，孔洞内部形成SiNx膜；在堵孔过程中，选择谷阳03号堵孔浆料。