[发明专利]用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置及其固定方法

摘要

用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置及其固定方法，它涉及微纳米材料加工领域。本发明解决了现有的机械装夹存在无法满足飞秒激光加工碳纳米管薄膜的需求的问题。本发明的真空吸附板密封安装在第二阶梯孔内，每个真空板螺纹孔内密封安装一个真空吸附气嘴，真空吸附气嘴的下部与气体导出路连通；静电吸附平台放置在真空吸附板的真空吸附主面上；上基板设置在下基板上部；电极板设置在上基板和下基板之间，电极板的下部设有与快速电极插座的接触头匹配的快速电极插口；载物片设置在上基板上端面的载物槽内；环形气腔可拆卸地安装在第一阶梯孔内，环形气腔的内圆周上以环形阵列的方式设有多个喷气嘴。本发明用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定。

主权项

1.用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：它包括基座(1)、真空吸附板(2)、环形气腔(3)、静电吸附平台(4)、真空吸附气嘴(5)、快速电极插座(6)和快速电极插口(7)；基座(1)的上平面(1‑1)沿竖直方向由上至下依次设有同轴的第一阶梯孔(1‑X)、第二阶梯孔(1‑Y)和第三阶梯孔(1‑Z)；基座(1)内部的第三阶梯孔(1‑Z)与基座(1)的下平面(1‑2)之间设有气体导出路(1‑3)和电极插座安装孔，快速电极插座(6)插装在基座(1)的电极插座安装孔内；真空吸附板(2)密封安装在第二阶梯孔(1‑Y)内，真空吸附板(2)上分别设有真空板螺纹孔(2‑1)和电极孔(2‑2)，每个真空板螺纹孔(2‑1)内密封安装一个真空吸附气嘴(5)，真空吸附气嘴(5)的下部与气体导出路(1‑3)连通；静电吸附平台(4)放置在真空吸附板(2)的真空吸附主面(2‑3)上；静电吸附平台(4)包括上基板(4‑1)、下基板(4‑2)、电极板(4‑3)和载物片(4‑4)，上基板(4‑1)设置在下基板(4‑2)上部，下基板(4‑2)的中心设有与快速电极插口(7)匹配的通孔；电极板(4‑3)设置在上基板(4‑1)和下基板(4‑2)之间，电极板(4‑3)的下部设有与快速电极插座(6)的接触头(6‑1)匹配的快速电极插口(7)；上基板(4‑1)上端面上开设有载物槽，载物片(4‑4)设置在载物槽内；环形气腔(3)可拆卸地安装在第一阶梯孔(1‑X)内，环形气腔(3)的内圆周上以环形阵列的方式设有多个喷气嘴(3‑1)。