[发明专利]用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置及其固定方法

权利要求书

1.用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：它包括基座(1)、真空吸附板(2)、环形气腔(3)、静电吸附平台(4)、真空吸附气嘴(5)、快速电极插座(6)和快速电极插口(7)；

基座(1)的上平面(1-1)沿竖直方向由上至下依次设有同轴的第一阶梯孔(1-X)、第二阶梯孔(1-Y)和第三阶梯孔(1-Z)；

基座(1)内部的第三阶梯孔(1-Z)与基座(1)的下平面(1-2)之间设有气体导出路(1-3)和电极插座安装孔，快速电极插座(6)插装在基座(1)的电极插座安装孔内；

真空吸附板(2)密封安装在第二阶梯孔(1-Y)内，真空吸附板(2)上分别设有真空板螺纹孔(2-1)和电极孔(2-2)，每个真空板螺纹孔(2-1)内密封安装一个真空吸附气嘴(5)，真空吸附气嘴(5)的下部与气体导出路(1-3)连通；

静电吸附平台(4)放置在真空吸附板(2)的真空吸附主面(2-3)上；

静电吸附平台(4)包括上基板(4-1)、下基板(4-2)、电极板(4-3)和载物片(4-4)，上基板(4-1)设置在下基板(4-2)上部，下基板(4-2)的中心设有与快速电极插口(7)匹配的通孔；

电极板(4-3)设置在上基板(4-1)和下基板(4-2)之间，电极板(4-3)的下部设有与快速电极插座(6)的接触头(6-1)匹配的快速电极插口(7)；

上基板(4-1)上端面上开设有载物槽，载物片(4-4)设置在载物槽内；

环形气腔(3)可拆卸地安装在第一阶梯孔(1-X)内，环形气腔(3)的内圆周上以环形阵列的方式设有多个喷气嘴(3-1)。

2.根据权利要求1所述的用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：静电吸附平台(4)的下基板(4-2)的上端面上设有下基板定位台(4-1-1)，上基板(4-1)的下端面上设有与下基板定位台(4-1-1)匹配的上基板定位槽(4-1-2)，上基板(4-1)通过相互配合的上基板定位槽(4-1-2)和下基板定位台(4-1-1)与下基板(4-2)连接。

3.根据权利要求2所述的用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：基座(1)的下端设置有基座外沿(8)。

4.根据权利要求1所述的用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：基座(1)的第一阶梯孔(1-X)的内圆柱面上设有第一螺纹(1-X-1)，环形气腔(3)的外圆柱面上设有与第一螺纹(1-X-1)相匹配的环形气腔外螺纹(3-2)，环形气腔(3)通过相互配合的第一螺纹(1-X-1)和环形气腔外螺纹(3-2)与基座(1)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：基座(1)的第二阶梯孔(1-Y)的内圆柱面上设有第二螺纹(1-Y-1)，真空吸附板(2)的外圆柱面上设有与第二螺纹(1-Y-1)相匹配的真空吸附板外螺纹(2-4)，真空吸附板(2)通过相互配合的第二螺纹(1-Y-1)和真空吸附板外螺纹(2-4)与基座(1)螺纹密封连接。

6.根据权利要求5所述的用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：所述固定装置还包括密封环(9)，电极孔(2-2)的内圆柱面上设有密封环安装槽，密封环(9)安装在电极孔(2-2)的密封环安装槽内。

7.根据权利要求1所述的用于飞秒激光加工碳纳米管薄膜的固定装置，其特征在于：环形气腔(3)上设有导气孔(3-3)，环形气腔(3)的每个喷气嘴(3-1)上均设有喷气头(3-1-1)，

喷气头(3-1-1)为空心圆柱状，喷气头(3-1-1)的一端端面上设置有进气孔(3-1-2)，喷气头(3-1-1)的另一端设有多个出气孔(3-1-3)，喷气头(3-1-1)的内部设有与喷气头(3-1-1)内壁密封连接的隔板，所述隔板上设有多个斜通孔(3-1-4)。