[发明专利]门阀组件及真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201811571039.3 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN109681652A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 孙晓东;董志清 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/05;F16K31/44;F16K35/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降；导向机构用于在阀体升降时为阀体导向、并用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 阀体 门阀组件 驱动机构 真空镀膜设备 导向机构 使用寿命 底座 升降 密封隔离装置 阀体导向 横向冲击 驱动阀体 横向力 开闭 | ||
【主权项】：
1.一种门阀组件，其特征在于，包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间，所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降；所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向、并用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。
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